当活性炭吸附有机物达到饱和状态后，停止吸入有机废气。通过活性炭床向上送入蒸汽进行吹脱，将有机物自活性炭中逐出，即解吸。罐中活性炭恢复其活性，即再生。
用蒸汽解吸后的活性炭层中，约留有80～90%的蒸汽凝液，填充了活性炭内孔，以此来降低了炭层的活性。因此，通入热空气对炭层进行干燥。然后关闭蒸汽阀门，再通入常温空气，冷却至25℃左右，活性炭恢复如初，以备再循环使用。
利用有机溶剂露点温度较高的特点，将蒸汽和有机溶剂的混合物引入冷凝器，使其冷凝，冷凝液经疏水阀进入分离器，利用溶剂比水轻的特点，分离回收。
为保证冷凝水的洁净，避免有机溶剂的凝水排入水体，在分离器内分离后的水中通入压缩空气，使水中有机溶液剂充分解脱。被压缩空气逐出的含有机物空气折返废气系统，重新吸附。净化后的冷凝水，排入下水道。
在连续生产的工厂中，吸附系统也需相应连续工作，可在废气净化系统模块设计中，选用双罐系列，以便吸附、再生交替连续使用。
再生周期应根据净化后排气中有害化学气体浓度而定。当有害化学气体浓度接近超标数值时，即应停止吸附，进行再生。帮系统初始工作阶段需及时测定排出口有害化学气体浓度，以便掌握合理吸附再生周期。
活性炭再生设备的优劣大多数表现在：吸附恢复率、炭损率、强度、能量消耗、辅料消耗、再生温度、再生时间、对人体和环境的影响、设备及基础投资、操作管理检修的繁简程度。
此外，任何活性炭低温加热再生装置中都需要妥善解决的是防止炭粒相互粘结、成块造成堵塞通道，甚至导致运行瘫痪的现象。
生物法是近年来研究较多的一种处理工艺，该方法最突出的优点是处理成本低廉、基本无二次污染。生物法虽然在净化低浓度有机污染物时效果明显，具有能耗低的优点，但存在气阻大、降解速率慢、设备体积非常庞大、易受污染物浓度及温度的影响，而且该法仅适用于亲水性及易生物降解物质的处理，对疏水性和难生物降解物质的处理还存在一定难度。
光敏半导体催化氧化或纳米金属氧化物光催化也是近年来的研究热点，但该技术的降解效率受控于污染物质与催化剂表面界面扩散速率，而且催化剂价格昂贵、很容易中毒失效，目前光催化技术很难用于大规模工业化应用，多局限于实验研究及小风量应用阶段。
1、低温等离子是内外电极在高压状态下进行间隙放电，间隙间通过的气体被电离的过程。由于放电电压较高38000v，电子在与空气中的氮气碰撞产生大量的氮氧化物，造成二次污染。
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